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华工科技:公司自主研发的12英寸高端晶圆激光加工装备已成功导入半导体行业头部客户

  • 发布时间:2026-08-03
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  证券日报网讯  7月29日,华工科星空体育技在互动平台回答投资者提问时表示,面向第三代化合物半导体领域,公司通过自主研发+产业链合作的形式,开发了覆盖前、后道制程的10套装备,包括晶圆表面切割智能装备、晶圆隐形切割智能装备、晶圆改质智能装备、全自动晶圆退火装备、晶圆衬底及外延量测装备等产品。目前,公司自主研发的12英寸高端晶圆激光加工装备已成功导入半导体行业头部客户。

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华工科技:公司自主研发的12英寸高端晶圆激光加工装备已成功导入半导体行业头部客户(图1)

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